激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。
激光混合氣的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光氣是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。
激光混合氣的組成與精度的影響。混合氣中組分濃度的變化對于振蕩效率和激光器使用壽命影響極大.激光混合氣采用99.999%、二氧化碳和99.999%氫氣、氮氣和氦氣等高純氣體，按激光發(fā)生器的的比例要求配制而成的預混合氣體。具有重復性好、均勻性好、一致性好等特點。激光混合氣的組成與精度的影響。對于二氧化碳激光器，若混合氣氮組分氣濃度發(fā)生變化，受電子沖撞則引起氨分子激勵狀態(tài)發(fā)生變化，結果會造成二氧化碳氣體分子的激勵效率等發(fā)生變化。
一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質的激，統(tǒng)稱為氣體激。這是目前種類多、發(fā)展快應用廣的一類激光器。激光混合氣中所用氣體的種類作用:普氧:作為切割碳鋼的氣體(助燃性)純度99.5%純氮:作為切割不銹鋼的氣體(冷卻性)純度999%(切割碳鋼速度為3/4)激光混合氣的組成與精度的影響。氣體激光器的種類繁多，激光混合氣的品種、規(guī)格也較多。對于激光混合氣的組成與精度都有嚴格的要求。
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